产品 ・技术

Products&Technology

Techno Quartz 主要提供高纯度石英玻璃、结晶硅材做成精密加工部件的生产及销售作为主力事业。
以高品质要求的领域培养出来的技术及经验为基础,向全世界的客户提供部件。

石英玻璃加工产品的事例

用于半导体制造工艺、理化学用途的石英玻璃加工产品。

石英环

大口径腔体

反应器

分光光度计用元件

应用加工产品

异种材装入板
(扩散接合品)

inner管
(内壁陶瓷熔射)

火炎加工製品

主に、半導体製造装置に使用される反応管や石英ボート・洗浄槽などを製作しています。テクノクオーツでは300mm ウェハーに対応した大型ボートから細密な部品まであらゆるサイズ・形状の火炎加工製品を提供することが可能です。

縦型石英ボート

半導体製造装置向けの縦型石英ボート。 縦型・横型の各種形状が製作可能です。

石英反応管

300mm ウェハーに対応した各種大型反応管の製作が可能です。

石英台座

ロッド・チューブの溶接組上げにより、あらゆる形状の石英部品が製作可能です。

スパイラル管

石英チューブによる複雑な形状加工。

ベルジャー

板厚のバラツキの少ない高精度溶接ベルジャー。

機械加工製品

機械加工製品は、主にダイヤモンド工具を利用して作られたリングやプレート状の製品を製作しています。
テクノクオーツではいち早く半導体製造装置・液晶製造用装置に対応した大型かつ精密な石英・シリコン製品を手がけ、独自の加工技術生かした製品を提供しております。

ガス分散板

精密穴加工を行った石英板。φ0.1mmの微細穴加工にも対応します。

石英リング

さまざまな形状のリング製品の製作が可能。

结晶硅加工产品的事例

半导体・FPD制造工艺中使用到的结晶硅材的加工品。
大型部件使用多结晶硅等材料。

Gas Shower Plate

大型板(□800mm)

其他技术 ・服务

细微加工技术

通过超精密机械加工可以形成小孔径及三维细微流路、按照构思来提供加工方案。

4ch试料导入芯片
(内有流路)

微混合器
(内有流路)

图案加工
(湿法刻蚀)

⽤途

微芯片/微反应器/微混合器
根据独特的接合技术、可制作耐压强度高的微芯片。

注册专利
专利4729763号 基板的蚀刻方法
专利4841063号 微孔道构造体及制造方法

洗净服务

洗净对象的使用工艺

  • CVD
  • SPATTERING
  • ION MILLING
  • DRY ETCHING(半导体、液晶)
  • EPI

※关于其他工艺可随时洽谈。

部件材质

陶瓷、硅、金属(SUS・AI・HASTELLOY)、镀膜品(Alumite等)

洗净对象事例

虽也因膜种而异,但可去除CVD等成膜工艺中使用到陶瓷l、金属件表面附着的膜。
因为采用尽量不给母料造成破损的洗净方法,所以有效地维持了初期表面的状态。

部件材质

  • 陶瓷
  • 金属(SUS、 AI、HASTELLOY)
  • 镀膜品(Alumite等)

耐等离子表面处理

CVD氧化钇是耐等离子性出色的透明保护膜。

因它是一种密着性高的细密膜,在等离子处理工艺(F系列、CI系列)中,有效地保护视窗等零件。

氟化树脂镀膜

用耐热,耐药,耐磨损性强的高纯度PFA※可以覆盖住石英玻璃的基材。
PFA=tetrafluoroethylene四氟乙烯・ perfluoroalkoxy polymers

产品特点

  • 抑制发尘、减少污染
  • 耐药性和耐热性强
  • 耐磨性高
  • 高密封性
  • 镀膜层的可再生

向石英玻璃基材镀PFA膜的事例

下一代部件管理技术

用掌上终端机及代码阅读器可识别石英玻璃材料中标记图案代码,可以提高可追溯性管理和操作性。可按用途来标识1维及维码(对位用,识别用等)

平面基材

细管・圆筒基材

注册专利
专利6412156号 设立管理信息产品

Porous结构体 (多孔质自支撑膜)

通过从基材无破损地脱离皮膜的方法,可以得到多孔质自支撑膜。
可用低成本生产出陶瓷,高熔点金属材质的多孔质结构体。

发挥多孔质的大表面积,绝热,分量轻等特性的用途是极为有效的。

注册专利
专利第5849083号 多孔质结构体的制造方法及多孔质独立膜

各种分析评估

作为本公司内部的品质管理及试作品的评估,
对原材料及加工件进行各式各样的分析。

SEM-EDX

加工面的表面观察
(SEM 2000倍)

微细加工品的形状评估
(激光显微镜)

热特性评估
(高温粘性试验)

机械特性评估
(弯曲强度试验)

光学特性评估
(分光测量)

数值模拟实验
(结构解析)