产品 ・技术
Products＆Technology
Techno Quartz 主要提供高纯度石英玻璃、结晶硅材做成精密加工部件的生产及销售作为主力事业。
以高品质要求的领域培养出来的技术及经验为基础，向全世界的客户提供部件。
石英玻璃加工产品的事例
用于半导体制造工艺、理化学用途的石英玻璃加工产品。
石英环
大口径腔体
反应器
分光光度计用元件
应用加工产品
异种材装入板
（扩散接合品）
inner管
（内壁陶瓷熔射）
火炎加工製品
主に、半導体製造装置に使用される反応管や石英ボート・洗浄槽などを製作しています。テクノクオーツでは300mm ウェハーに対応した大型ボートから細密な部品まであらゆるサイズ・形状の火炎加工製品を提供することが可能です。
縦型石英ボート
半導体製造装置向けの縦型石英ボート。 縦型・横型の各種形状が製作可能です。
石英反応管
300mm ウェハーに対応した各種大型反応管の製作が可能です。
石英台座
ロッド・チューブの溶接組上げにより、あらゆる形状の石英部品が製作可能です。
スパイラル管
石英チューブによる複雑な形状加工。
ベルジャー
板厚のバラツキの少ない高精度溶接ベルジャー。
機械加工製品
機械加工製品は、主にダイヤモンド工具を利用して作られたリングやプレート状の製品を製作しています。
テクノクオーツではいち早く半導体製造装置・液晶製造用装置に対応した大型かつ精密な石英・シリコン製品を手がけ、独自の加工技術生かした製品を提供しております。
ガス分散板
精密穴加工を行った石英板。φ0.1ｍｍの微細穴加工にも対応します。
石英リング
さまざまな形状のリング製品の製作が可能。
结晶硅加工产品的事例
半导体・ＦＰＤ制造工艺中使用到的结晶硅材的加工品。
大型部件使用多结晶硅等材料。
Gas Shower Plate
大型板(□800mm)
其他技术 ・服务
细微加工技术
通过超精密机械加工可以形成小孔径及三维细微流路、按照构思来提供加工方案。
4ch试料导入芯片
（内有流路）
微混合器
（内有流路）
图案加工
（湿法刻蚀）
⽤途
微芯片/微反应器/微混合器
根据独特的接合技术、可制作耐压强度高的微芯片。
注册专利
专利4729763号 基板的蚀刻方法
专利4841063号 微孔道构造体及制造方法
洗净服务
洗净对象的使用工艺
- CVD
- SPATTERING
- ION MILLING
- DRY ETCHING（半导体、液晶）
- EPI
※关于其他工艺可随时洽谈。
部件材质
陶瓷、硅、金属（SUS・AI・HASTELLOY）、镀膜品（Alumite等）
洗净对象事例
虽也因膜种而异，但可去除CVD等成膜工艺中使用到陶瓷l、金属件表面附着的膜。
因为采用尽量不给母料造成破损的洗净方法，所以有效地维持了初期表面的状态。
部件材质
- 陶瓷
- 硅
- 金属（SUS、 AI、HASTELLOY）
- 镀膜品（Alumite等）
耐等离子表面处理
CVD氧化钇是耐等离子性出色的透明保护膜。
因它是一种密着性高的细密膜，在等离子处理工艺（F系列、CI系列）中，有效地保护视窗等零件。
氟化树脂镀膜
用耐热，耐药，耐磨损性强的高纯度PFA※可以覆盖住石英玻璃的基材。
※PFA＝tetrafluoroethylene四氟乙烯・ perfluoroalkoxy polymers
产品特点
- 抑制发尘、减少污染
- 耐药性和耐热性强
- 耐磨性高
- 高密封性
- 镀膜层的可再生
向石英玻璃基材镀PFA膜的事例
下一代部件管理技术
用掌上终端机及代码阅读器可识别石英玻璃材料中标记图案代码，可以提高可追溯性管理和操作性。可按用途来标识1维及维码(对位用，识别用等)
平面基材
细管・圆筒基材
注册专利
专利6412156号 设立管理信息产品
Porous结构体 （多孔质自支撑膜）
通过从基材无破损地脱离皮膜的方法，可以得到多孔质自支撑膜。
可用低成本生产出陶瓷，高熔点金属材质的多孔质结构体。
发挥多孔质的大表面积，绝热，分量轻等特性的用途是极为有效的。
注册专利
专利第5849083号 多孔质结构体的制造方法及多孔质独立膜
各种分析评估
作为本公司内部的品质管理及试作品的评估，
对原材料及加工件进行各式各样的分析。
SEM-EDX
加工面的表面观察
（SEM 2000倍）
微细加工品的形状评估
（激光显微镜）
热特性评估
（高温粘性试验）
机械特性评估
（弯曲强度试验）
光学特性评估
（分光测量）
