製品・技術
Products＆Technology
テクノクオーツは、高純度石英ガラス、結晶シリコン材からなる精密加工部品の製造および販売を主力事業としております。
高度な品質要求の分野で培われた技術と経験をもとに世界中のお客様にパーツ供給しております。
石英ガラス加工製品の事例
半導体製造プロセスや理化学用途で使用される石英ガラス加工製品です。
石英リング
大口径チャンバー
（イメージ図）
リアクター
機械要素部品
応用加工製品
火炎加工製品
主に、半導体製造装置に使用される反応管や石英ボート・洗浄槽などを製作しています。テクノクオーツでは300mm ウェハーに対応した大型ボートから細密な部品まであらゆるサイズ・形状の火炎加工製品を提供することが可能です。
縦型石英ボート
半導体製造装置向けの縦型石英ボート。 縦型・横型の各種形状が製作可能です。
石英反応管
300mm ウェハーに対応した各種大型反応管の製作が可能です。
石英台座
ロッド・チューブの溶接組上げにより、あらゆる形状の石英部品が製作可能です。
スパイラル管
石英チューブによる複雑な形状加工。
ベルジャー
板厚のバラツキの少ない高精度溶接ベルジャー。
機械加工製品
機械加工製品は、主にダイヤモンド工具を利用して作られたリングやプレート状の製品を製作しています。
テクノクオーツではいち早く半導体製造装置・液晶製造用装置に対応した大型かつ精密な石英・シリコン製品を手がけ、独自の加工技術生かした製品を提供しております。
ガス分散板
精密穴加工を行った石英板。φ0.1ｍｍの微細穴加工にも対応します。
石英リング
さまざまな形状のリング製品の製作が可能。
結晶シリコン加工製品の事例
半導体･FPD製造プロセスで使⽤される結晶シリコン材の加工製品です。
大型パーツでは、多結晶シリコン材などが利⽤されます。
ガスシャワープレート
大型プレート（□800㎜）
その他技術・サービス
微細加工技術
超精密機械加工により小径穴や3次元的微細流路の形成が可能です。
周辺機器との接続方法につきましても、お気軽にご相談ください。
4ch試料導入チップ
（内部流路付き）
マイクロミキサー
（内部流路付き）
液体注入事例
（2液混合）
⽤途
マイクロチップ／マイクロリアクタ／マイクロミキサー
独⾃の接合技術により、耐圧強度の⾼いマイクロチップを製作いたします。
登録済み特許
特許4729763号 基板のエッチング方法
洗浄サービス
洗浄対象プロセス
- CVD
- スパッタリング
- イオンミリング
- ドライエッチング（半導体・液晶）
- エピ
※その他プロセスについてはご相談ください。
パーツ材質
セラミックス，シリコン，金属（SUS、Al、ハステロイ），
コーティング品（アルマイト等）
洗浄対象事例
膜種にもよりますが、CVD等の成膜プロセスで使⽤されるセラミックス･⾦属パーツの表面付着膜を除去することが可能です。
⺟材に極⼒ダメージを与えない洗浄方法を採⽤しておりますので、初期表面を維持したい場合に有効です。
パーツ材質
- セラミックス
- シリコン
- 金属（SUS、 AI、ハステロイ）
- コーティング品（アルマイト等）
耐プラズマ表面処理
「CVDイットリア」は、耐プラズマ性に優れた透明性保護膜です。
石英ガラスとの密着性に優れ、プラズマ処理プロセス（F系、Cl系）で使用されるウィンドウ類の保護膜として有効です。
フッ素樹脂コーティング
耐熱・耐薬品・耐摩耗性に優れた高純度PFA※で石英ガラス基材を被覆することができます。
※PFA＝テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体
製品特長
- 発塵抑制、コンタミ低減
- 優れた耐薬品性と耐熱性
- 耐摩耗性が高い
- 高い密着性
- コーティング層の再生可能
石英ガラス基材への
PFAコーティング事例
次世代パーツ管理技術
ハンディターミナルやコードリーダーを用いて、石英ガラス母材の肉中にマーキングした図形コードを認識させることで、トレーサビリティ管理の精度や作業性の向上を図ることができます。用途に応じて、１次元や２次元コード、位置合わせ、識別マーク等をマーキングすることができます。
平面基材
細管・円筒基材
登録済み特許
特許6412156号 管理情報を設けた製品
ポーラス構造体（多孔質自立膜）
多孔質の皮膜を基材からダメージレスで分離させる自立膜製法により、
セラミックスや高融点金属材料からなるポーラス構造体を低コストで製造することができます。
大表面積、断熱、軽量等の多孔質特性を生かす用途で有効です。
登録済み特許
特許第5849083号 多孔質構造体の製造方法及び多孔質⾃⽴膜
各種分析評価
⾃社内の品質管理や試作品の評価として
素材や加工物の様々な分析評価を⾏っています。
SEM-EDX
加工⾯の表⾯観察
（SEM 2000倍）
微細加工品の形状評価
（レーザー顕微鏡）
熱特性評価
（⾼温粘性試験）
機械特性評価
（曲げ強度試験）
光学特性評価
（分光測定）
数値シミュレーション
（構造解析）
R&D活動
社外発表および論文等
| 発表年月 | 学会・講演会名・掲載誌 | タイトル | |
| 2024年 | 11月 | 日本セラミックス協会ガラス部会 第65回ガラスおよびフォトニクス 材料討論会 | 石英ガラス破砕層におけるマイクロクラック閉口現象の検証 |
| 10月 | 日本溶射学会誌 第61巻 第4号 | テクノクオーツ会社紹介 異業種交流への取り組み | |
| 6月 | 日本溶射学会 第119回全国講演大会 | セラミック溶射自立膜における共振法を用いた動弾性係数測定とポアソン比の推定 | |
| 1月 | 日本溶射学会誌 第61巻 第1号 | 石英ガラス基材とセラミック溶射皮膜の密着性を高める2層溶射構造および破砕層抑制処理の有効性評価 ※J-STAGEより閲覧のみ可能です |
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| 2023年 | 6月 | 日本溶射学会 第117回全国講演大会 | 静的および動的試験によるセラミック溶射自立膜の機械的特性評価 |
| 2022年 | 11月 | 日本溶射学会 第116回全国講演大会 | 石英ガラス基材における溶射前熱処理の効果と皮膜の密着強度に与える影響 |
| 6月 | 日本溶射学会 第115回全国講演大会 | 石英ガラス部材を被覆するセラミック溶射皮膜の密着性向上 | |
特許出願および登録情報
| 年 | 種別 | 出願番号／登録番号 | 出願人／権利者 |
| 2023年 | 登録 | 特許第7340177号 | 学校法人芝浦工業大学、テクノクオーツ株式会社 |
| 出願 | 18/185,527（米国） | Techno Quartz Inc. | |
| 18/163,017（米国） | Techno Quartz Inc. | ||
| 2022年 | 登録 | 特許第7196343号 | テクノクオーツ株式会社 |
| 特許第7162153号 | テクノクオーツ株式会社 | ||
| 出願 | 特願2022-062181 | テクノクオーツ株式会社 | |
| 特願2022-021603 | テクノクオーツ株式会社 |
